高純氣體分析色譜儀適應(yīng)惡劣環(huán)境下的長(zhǎng)期工作
點(diǎn)擊次數(shù)：602 更新時(shí)間：2023-12-23
高純氣體分析色譜儀是一種專門用于分析和檢測(cè)高純度氣體成分的儀器?；谏V技術(shù)原理，能夠?qū)怏w中微量的成分進(jìn)行準(zhǔn)確、快速的分析，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工等領(lǐng)域。主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱箱系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。其中，氣路系統(tǒng)包括氣源、氣流調(diào)節(jié)、氣流分配等模塊，進(jìn)樣系統(tǒng)用于精確控制樣品的進(jìn)樣量和進(jìn)樣時(shí)間，柱箱系統(tǒng)則包括柱子、加熱器和溫控系統(tǒng)，檢測(cè)系統(tǒng)主要包括檢測(cè)器和放大器等部分，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)則用于將檢測(cè)到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析。
工作原理基于色譜技術(shù)原理。當(dāng)待分析的氣體經(jīng)過(guò)樣品進(jìn)樣系統(tǒng)進(jìn)入柱子時(shí)，會(huì)受到柱子內(nèi)填料的分離作用，不同成分的氣體會(huì)在柱子中被分離出來(lái)，分離出來(lái)的氣體分別進(jìn)入檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)器將檢測(cè)到的信號(hào)傳輸至放大器，經(jīng)過(guò)放大處理后，再傳輸至數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理和分析，最終得出樣品中各成分的含量。
1.高靈敏度：能夠檢測(cè)到極低濃度的微量氣體成分，達(dá)到ppm、ppb甚至ppt級(jí)別。
2.高精度：對(duì)于同一樣品，反復(fù)測(cè)試結(jié)果誤差小，分析結(jié)果準(zhǔn)確可靠。
3.可靠性高：采用先進(jìn)的技術(shù)和材料，具備較強(qiáng)的耐腐蝕性和穩(wěn)定性，適應(yīng)惡劣環(huán)境下的長(zhǎng)期工作。
4.操作簡(jiǎn)便：采用全自動(dòng)化控制系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)便，不需要高超的技能。
高純氣體分析色譜儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工等領(lǐng)域，用于分析氣體中的微量雜質(zhì)元素，如H2、O2、N2、Ar、He、Kr、Xe、CO2、CO、CH4、C2H4、C2H6等。近年來(lái)，在新能源汽車、氫能源等領(lǐng)域也得到了廣泛應(yīng)用。
